三菱伺服驱动器的主要三个系列：MR-ES、MR-J2S、MR-J3。
三菱伺服驱动器—— 通常故障情况可由伺服驱动器上显示代码来初步判断，以下是几种常见的故障及其排查方法：
AL.E6 -表示伺服紧急停止。引起此故障的原因一般有两个，一个是控制回路24V电源没有接入，另一个是CN1口EMG和SG之间没有接通。
AL.37 -参数异常。内部参数乱，操作人员误设参数或者驱动器受外部干扰导致。一般参数恢复成出厂值即可解决。
AL.16 -编码器故障。内部参数乱或编码器线故障或电机编码器故障。参数恢复出厂值或者更换线缆或者更换电机编码器，若故障依旧，则驱动器底板损坏。
AL.20 -编码器故障。电机编码器故障或线缆断线、接头松动等导致。更换编码器线或伺服电机编码器。MR-J3系列发生此故障时，还有一种可能是驱动器CPU接地线烧断导致。
AL.30-再生制动异常。若刚通电就出现报警，则驱动器内部制动回路元件损坏。若在运行过程中出现，可检查制动回路接线，必要时外配制动电阻。
AL.50、AL.51-过载。 检查输出U、V、W三相相序接线是否正确，伺服电机三相线圈烧坏或接地故障。监控伺服电机负载率是否长时间超过100%，伺服响应参数设置过高，产生共振等原因。
AL.E9-主回路断开。检查主回路电源是否接入，若正常则主模块检测回路故障，须更换驱动器或配件。
AL.52-误差过大。电机编码器故障或驱动器输出模块回路元件损坏，通常油污较多的使用场合此故障较多。
三菱伺服驱动器——简单判断伺服电机故障方法：
去掉电机所有接线后，转动电机轴承，如能感觉到明显的阻力，转动时不顺畅，则机身线圈烧坏，另外装配联轴器不当时很容易把编码器敲坏，可摇动电机编码器部分，若能听到编码器碎片的声音，则编码器被敲坏。
